碲锌镉(简称CZT)材料是上世纪末从碲化镉二元材料的基础上发展起来的二六族三元化合物半导体材料。其电阻率高，禁带宽度大，且随锌含量的不同，室温下禁带宽度从1．45～2．26eV连续变化。其重要用途是作为液相外延碲镉汞薄膜的最佳衬底材料。目前，碲镉汞焦平面红外探测器是军事用途最广、发展最成熟的红外探测器，可实现对整个红外波段的探测。碲锌镉晶体的晶格常数可随锌含量的不同而变化，使其与不同波长的碲镉汞薄膜达到较高的晶格匹配。因此近年来碲锌镉晶体迅速应用在核安全、天体物理、环境监测和医学成像等领域。

重要军事用途对碲锌镉晶片表面加工提出了较高的要求。如果碲锌镉晶体存在表面损伤，高密度的表面悬挂键会产生表【我爱线报网】52线报网-专注分享活动首码线报优惠券零投网赚项目面附加能级，增大表面漏电。而且表面损伤是外延生长过程中的缺陷源，会严重降低探测器的性能。表面粗糙度是评价表面形貌的重要参数，对外延生长有重要意义。因此在碲锌镉晶锭切割后，对碲锌镉晶片进行材料加工，得到表面光洁平坦且无损伤层的晶体表面尤为重要。