证券之星消息，根据企查查数据显示中巨芯（688549）新获得一项发明专利授权，专利名为“电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法”，专利申请号为CN202110755055.3，授权日为2024年1月2日。

专利摘要：本发明提供一种电子级氢氟酸的连续化制备系统及方法，半导体器件的制备过程采用特殊工艺生产的电子级氟化氢进行蚀刻和清洗，本申请的电子级氟化氢，利用亚氟/氟气协同氧化效应结合超重力氧化反应/分离耦合强化技术，将原料中杂质离子深度氧化，显著降低杂质离子含量。根据工业试验结果，采用本发明的系统和方法生产得到的电子级氢氟酸中杂质含量小于3ppt，As、Fe、Ca、B等杂质元素含量均较当前主流工艺减少我爱线报网每日持续更新海量各大内部创业教程10倍以上，其中最主要杂质As的含量降低至0.001ug/L以下，相较于当前主流工艺减少200倍以上。

今年以来中巨芯新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3080.22万元，同比增10.48%。

数据来源：企查查

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